多級羅茨泵的特征

 

為了滿意以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制作工藝對無油的干凈真空的須要，越來越多的干式真空取得裝備得以開發(fā)及普遍運用。其中，干式羅茨泵以其抽速大、對任務(wù)條件請求較寬松等長處在干泵市場中占領(lǐng)主要的位置。而在于式羅茨泵當(dāng)中，則是以多級羅茨泵為主，美日等真空技巧對比興旺的國度都已開發(fā)作產(chǎn)出多級羅茨泵的系列產(chǎn)品，運用于半導(dǎo)體及化工工業(yè)中。

所謂“多級”是相關(guān)于傳統(tǒng)意義上的“單級”羅茨泵而言的，即在轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)多級羅茨型轉(zhuǎn)子，各級轉(zhuǎn)子由兩頭壁來隔離，造成絕對獨立的泵腔，各級泵腔之間通過上一級的進(jìn)氣口和下一級的排氣口間的氣流通道相銜接。各級轉(zhuǎn)子的直徑和外形是雷同的，而各級轉(zhuǎn)子的寬度有時是不同的，向低壓側(cè)方向變窄了。為了增添收縮比，氣冷式三葉轉(zhuǎn)子。被抽氣體從第一級的進(jìn)氣口進(jìn)入泵腔，經(jīng)一級收縮后，通過氣流通道進(jìn)入下一級泵腔中繼承收縮，氣體經(jīng)過如此逐級收縮，最后從最后一級的排氣口排出。簡言之，“多級”就是“多綴轉(zhuǎn)子”，“多級泵腔”，“多級收縮”。

多級羅茨泵通過多級轉(zhuǎn)子的串聯(lián)完成多個羅茨泵串聯(lián)的后果，因為是串聯(lián)，所以多級羅茨泵并不能比單級羅茨祭領(lǐng)有更大的抽速，其實踐抽速是取決于第一級的實踐抽速。然而，這種構(gòu)造卻能夠使羅茨泵到達(dá)很高的收縮比，因而，多級羅茨泵是能夠作為主泵直排大氣，而無需再配置前級泵，這樣就能夠避免前級裂環(huán)節(jié)給體系帶來的油氣凈化。3-6級的羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力1pa，如此高的壓力差會使轉(zhuǎn)子過熱嘭脹，而發(fā)作卡逝世景象，所以要在低壓段對轉(zhuǎn)子進(jìn)行氣冷，以掌握轉(zhuǎn)予的溫度不超越其許可規(guī)模。個別的氣冷計劃是使從各級的排氣口排出的氣體流經(jīng)冷卻器冷卻，再返回到該級的任務(wù)腔中，運用冷卻氣體來冷卻轉(zhuǎn)子。當(dāng)然，這種冷卻方式是要以喪失羅茨泵的抽速為代價的。為了避免軸承和齒輪的光滑油向泵腔內(nèi)返流，多級羅羨泵的泵腔和齒輪箱之距離開或用迷宮式構(gòu)造加以密封，為了進(jìn)步無油的水平，齒輪箱也有另外用真空泵排氣的狀況。